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ಥ੾Ճ޻༻ νοϓࡐ࣭ද                                                                        ϢʔβʔΨΠυ
      ಥ੾޻۩








           νοϓࡐ࣭                   ISO                      ฼ࡐ ίʔςΟϯά
                                          M05-M15
                    S.T.           P10-P20 M05-M15
                                   K15-K30 S10-S20          ߴߗ౓௒ඍཻࢠ௒ߗ฼ࡐ + PVDίʔςΟϯά
                  IC807            H05-H15
                  IC807
                                          M20-M30
                    S.T.           P15-P30 M20-M30
                                   K20-K40 S15-S30          ߴߗ౓௒ඍཻࢠ௒ߗ฼ࡐ + PVDίʔςΟϯά
                  IC808            H20-H30
                  IC808
                    S.T.           P30-P45
                                   M25-M45
                  IC830
                  IC830            M25-M45                  ߴߗ౓฼ࡐ + PVDίʔςΟϯά
                                          M05-M15
                                   P10-P20 M05-M15
                 IC907             K15-K30 S10-S20          ߴߗ౓௒ඍཻࢠ௒ߗ฼ࡐ + PVDίʔςΟϯά
                                   H05-H15
                                   P15-P30 M20-M30
                                          M20-M30
                 IC908             K20-K40 S15-S30          ௒ඍཻࢠ௒ߗ฼ࡐ + PVDίʔςΟϯά
                                   H20-H30
                                   P15-P30 M20-M30
                                          M20-M30
                IC1008             K20-K40 S15-S30          ߴߗ౓௒ඍཻࢠ௒ߗ฼ࡐ + PVDίʔςΟϯά
                                   H20-H30
                                   P15-P30 M20-M30
                                          M20-M30
                IC1010             K20-K40 S15-S30          ߴߗ౓௒ඍཻࢠ௒ߗ฼ࡐ + PVDίʔςΟϯά
                                   H20-H30
                IC1030             P30-P45                  ߴߗ౓฼ࡐ + PVDίʔςΟϯά
                                   M25-M45
                                   M25-M45
                    S.T.           P30-P45
                                   M25-M45
                 IC5400            M25-M45                  ߴߗ౓฼ࡐ + MTCVDίʔςΟϯά
                 IC5400
          S.T. εϞ΢ςοΫࡐ࣭                PVDίʔςΟϯά               CVDίʔςΟϯά













           νοϓࡐ࣭                   ISO                      ฼ࡐ ίʔςΟϯά

                 IC30N             P10-P30                  αʔϝοτ
                                   M10-M20
                                   M10-M20
                  IC20             N05-N25 S10-S25          ௒ߗ
                                   K10-K20 H10-H20

            αʔϝοτ         ϊϯίʔτ



















  C116    ISCAR
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