Page 123 - SOGO_catalog_ver_2_202212_ISOTURN
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                                                                                                                      ϓ
                                                                                                                      ISOટ࡟νο






                IS80 CVDίʔςΟϯά Si3N4                           IW7 Al2O3+SiC΢ΟεΧʔ
                ͶͣΈரమͷߴ଎ટ࡟ૈՃ޻
              • IS8฼ࡐͷଟ૚ίʔςΟϯά                               • ߴߗ౓ (Hv 2,100)
                                  (1)
              • ரమͷૈՃ޻ɾஅଓ੾࡟ ʹద͢                              • SiC(୸ԽέΠૉ)΢ΟεΧʔڧԽηϥϛοΫ
                                                              ʹΑΔߴ͍ഁյਟੑ஋
                                                             • ଱೤িܸੑʹ༏Εɺ࣪ࣜՃ޻ٴͼɺ
                                                              அଓ੾࡟͕Մೳ
                                                             • ௒ߗࡐ࣭ͱൺ΂ɺ8ʙ10ഒͷ੾࡟଎౓Ͱ
                                                              ૈʙத࢓্Ճ޻ʹରԠ
                                                             • Ξϧϛφ฼ࡐʹΑΔྑ޷ͳ଱ࢎԽੑ


                                                               ੾࡟଎౓
                                                               (m/min)


                 (1)  அଓ੾࡟࣌ɺΫʔϥϯτ͸ਪ঑͠·ͤΜɻ
                                                               450


                                                                            IW7
                                                                            IW7
                IS9  Si3N4
                                                                                        IS9
                                                                                        IS9
                χοέϧج߹ۚͷ
                ટ࡟Ճ޻༻
                                                               150
               • ߴ͍ਕઌ߶ੑͷ
                ߴ㔸ੑ஠ԽέΠૉܥ
                ηϥϛοΫࡐ࣭                                        30
                                                                           IC20
               • χοέϧج଱೤߹ۚͷ                                                IC20
                ૈʙ࢓্Ճ޻·ͰରԠ
                                                                      0.1       0.15      0.30
               • ϗʔχϯάඪ४ॲཧ
                                                                                              ૹΓ(mm/rev)










































                                                                                                                  A123
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