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                                      K01-K10
                                                               㔸ੑͱ଱ຎ໣ੑʹ༏ΕͨϗϫΠτηϥϛοΫɻ
                   ϗϫΠτηϥϛοΫ          S01-S10
                     IN22             H05-H25                  ϒϥοΫηϥϛοΫ
                    ϒϥοΫηϥϛοΫ         K05-K10

                     IN23             K05-K15                  ϒϥοΫηϥϛοΫ
                   ϒϥοΫηϥϛοΫ          H10-H30
                      IS6             K01-K10                  ഁյ㔸ੑͱ଱೤িܸੑʹ༏ΕͨSiAlONࡐ࣭
                      αΠΞϩϯ

                      IS8             K01-K20                  ஠ԽέΠૉࡐ࣭
                      ஠ԽέΠૉ

                      IS9             S20-S30                  ஠ԽέΠૉࡐ࣭
                      ஠ԽέΠૉ
                     IS25             S10-S20                  ߴߗ౓ɺڧԽSiAlONࡐ࣭
                      αΠΞϩϯ

                     IS35             S15-S25                  ߴߗ౓ɺڧԽSiAlONࡐ࣭
                      αΠΞϩϯ

                     IS80             K01-K20                  Si3N4ࡐ࣭ + CVDίʔςΟϯά
                      ஠ԽέΠૉ

                    IN420             K05-K10                  ϒϥοΫηϥϛοΫࡐ࣭ + PVDίʔςΟϯά
                   ϒϥοΫηϥϛοΫ          H05-H25

                      IW7             S20-S30                  ΢ΟεΧʔڧԽηϥϛοΫࡐ࣭
                   ΢ΟεΧʔηϥϛοΫ         H05-H25

              ηϥϛοΫ




























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